tft—lcd是采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术,是液晶(lc)、无机和有机薄膜电致发光(el和oel)平板显示器的基础。

tft是在玻璃或塑料基板等非单晶片上(当然也可以在晶片上)通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜,通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路(lsic)。

采用非单晶基板可以大幅度地降低成本,是传统大规模集成电路向大面积、多功能、低成本方向的延伸。在大面积玻璃或塑料基板上制造控制像元(lc或oled)开关性能的tft比在硅片上制造大规模ic的技术难度更大。

对生产环境的要求(净化度为100级),对原材料纯度的要求(电子特气的纯度为99.999985%),对生产设备和生产技术的要求都超过半导体大规模集成,是现代大生产的顶尖技术。

特点:

(1)大面积:九十年代初第一代大面积玻璃基板(300mm×400mm)tft-lcd生产线投产,到2000年上半年玻璃基板的面积已经扩大到了680mm×880mm),而预计在09年启动的日本sharp在大阪投资的10代线玻璃基板尺寸达到了2880mmx3080mm,该尺寸玻璃面板可裁切15片42寸的液晶电视。  

(2)高集成度:用于液晶投影的1.3英寸tft芯片的分辨率为xga含有百万个象素。分辨率为sxga(1280×1024)的16.1英寸的tft阵列非晶体硅的膜厚只有50nm,以及tab on glass和system on glass技术,其ic的集成度,对设备和供应技术的要求,技术难度都超过传统的lsi。  

(3)功能强大:tft最早作为矩阵选址电路改善了液晶的光阀特性。对于高分辨率显示器,通过0-6v范围的电压调节(其典型值0.2到4v),实现了对象元的精确控制,从而使lcd实现高质量的高分辨率显示成为可能。tft-lcd是人类历史上第一种在显示质量上超过crt的平板显示器。人们开始把驱动ic集成到玻璃基板上,整个tft的功能将更强大,这是传统的大规模半导体集成电路所无法比拟的。  

(4)低成本:玻璃基板和塑料基板从根本上解决了大规模半导体集成电路的成本问题,为大规模半导体集成电路的应用开拓了广阔的应用空间。  

(5)工艺灵活:除了采用溅射、cvd(化学气相沉积)mcvd(分子化学气相沉积)等传统工艺成膜以外,激光退火技术也开始应用,既可以制作非晶膜、多晶膜,也可以制造单晶膜。不仅可以制作硅膜,也可以制作其他的Ⅱ-Ⅵ族和Ⅲ-Ⅴ族半导体薄膜。  

(6)应用领域广泛,以tft技术为基础的液晶平板显示器是信息社会的支柱产业,也技术可应用到正在迅速成长中的薄膜晶体管有机电致发光(tft-oled)平板显示器也在迅速的成长中。

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